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FS4000微型空氣流量傳感器

產品時間:2021-08-27

簡要描述:

FS4000微型空氣流量傳感器是采用微機電系統(MEMS)流量傳感器技術和智能電子控制技術,專為普通氣體流量監測開發的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量,低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監控,還可用于環境采樣器(如色譜分析儀器等)

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FS4003流量傳感器,管道內徑為3mm,成本低測量范圍大到5SLPM;適用于粒子計數器和各類分析儀器。

FS4008流量傳感器,管道內徑為8mm,測量范圍大到50SLPM;可用于麻醉設備、潔凈氣體檢測,如:空氣采樣機,氣體分析儀等

FS4000微型空氣流量傳感器產品特點:

   - 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計

  - 支持多種連接方式,易于安裝與使用

  - 傳感芯片采用熱質量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳感器的高精度計量

  - 在單個芯片上實現了多傳感器集成,使其量程比達到了100:1甚至更高

  - 輸出方式靈活,既可通過通訊接口主動上傳數據或由上位機查詢輸出數據,也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓

  - 零點穩定度高

  - 全量程高穩定性、高精確度和優良的重復性

  - 低功耗、低壓損

  - 響應速度快

FS4000微型空氣流量傳感器機械尺寸:

性能參數

FS4003

FS4008

單位

通徑

3

8

mm

大流量

2, 3, 4, 5

10, 20, 30, 40, 50

SLPM

量程比

100:1

精度

±(1.5+0.2FS)

%

重復性

0.5

%

零點輸出飄移

±30

mV

輸出飄移

0.12

%/oC

響應時間

10(默認、20、50、100、200、500、1000可設置)

ms

工作電源

8~24Vdc,50mA

輸出方式

線性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc

大流量壓損

100

600

pa

大工作壓力

0.5

MPa

工作溫度

-10 ~ +55

oC

存儲溫度

-20 ~ +65

oC

工作濕度

<95%RH(無結冰、無凝露)

機械接口

BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭

校準方式

空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa

重量

52(帶R1/4,BSPT1/4接口)
71(帶4mm,8mm快速接口,68(帶6mm快速接頭)

g

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